庫倫力型靜電吸盤：產品資訊

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... 靜電電容容易變化之庫倫力型或強生拉貝克型的輔助靜電吸盤。 在本發明中，針對控制靜電吸盤之電荷量的靜電電容可變手段，即使以可變電容器或輔助靜電吸盤等之一個靜電 ...

[龍欣簡介] 庫倫力型-無線

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[龍欣簡介] 庫倫力型-無線-靜電吸盤(Cordless E-Chuck) · 1. 可吸附物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。 · 2. 在 ...

■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

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專利庫倫力型靜電吸盤的特色 ​(1) 為​ “庫倫力型” 靜電吸盤。 (2) 本靜電吸盤研發改進數十年，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。

專利庫倫力型靜電吸盤​​Patent Coulomb

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​專利庫倫力型靜電吸盤擁有許多獨有的特性，可為許多輕薄軟易碎物件、真空環境中的工程問題，提供最佳解決方案。 □ 可吸附材質​ ​(1) 金屬導體。(如：銅箔。)​ (2) 半導體 ...

靜電吸盤Electrostatic Chuck

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靜電吸盤解決方案

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目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic Chuck，簡稱ESC 或靜電力吸盤)。 ... 庫倫式ESC：HDP 8/ ...

靜電盤的吸附原理

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由庫倫力支配的靜電吸盤，可以藉由高壓通電來吸附對象物。而誘電層的厚薄度會直接影響庫倫力的吸附力強度。例如：TEL DRM、TEL SCCM、TEL Vigas、AMAT Centura Ultima ...

龍欣科技股份有限公司EDRAGON TECH Co. on ...

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專利庫倫力型靜電吸盤是許多工程上輕薄軟物件、真空環境中的理想吸附工具。 □ 主要吸附應用​ : (1) 超大尺寸平板玻璃。 (2) 半導體薄化晶圓。 (3) 翹 ...