銅蝕刻液配方:蝕刻劑及蝕刻方法

蝕刻劑及蝕刻方法

蝕刻劑及蝕刻方法

本發明為關於半導體基板用蝕刻劑之發明,此半導體.基板用蝕刻劑係包含(A)過氧化氫、(B)具有羥基之膦酸系.螯合劑及(C)鹼性化合物,以及(D-1)銅防蝕劑或/及(D-2).具有羥基之 ...。其他文章還包含有:「CN106757029A」、「銅在酸性溶液之蝕刻研究」、「酸性蝕刻液250」、「电路板蚀刻液」、「CN102094201A」、「蝕刻液」、「CN104919087A」、「CN101139714A」

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CN106757029A
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銅在酸性溶液之蝕刻研究
銅在酸性溶液之蝕刻研究

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本實驗針對銅溼式蝕刻之蝕刻液分為三個部分討論:第一部分為氯化銅-鹽酸-氯化銨系統研究,第二部分為硫酸-雙氧水與添加劑之作用,最後一個部分為低蝕刻速率之硫酸- ...

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酸性蝕刻液250
酸性蝕刻液250

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酸性蝕刻液250. 一、簡介:. 250 是一種以氯酸鈉為主,且加入特殊配方的濃縮蝕刻液,蝕刻板子時,係以低酸當. 量進行操作,將得到較優良的蝕刻因子,免除雙氧水穩定性控制 ...

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电路板蚀刻液
电路板蚀刻液

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配制方法:. 常温常压下. 1. 在生产槽中按照比例依次加入原材料氯化铵、氯酸钠、盐酸和水;. 2. 经搅拌至完全溶解。 >酸性氯化铜蚀刻液配方. 酸性氯化铜蚀刻液配方见下表。

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CN102094201A
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本发明涉及一种铜金属表面处理的微蚀刻液,属金属表面处理技术。配方如下:硫酸H 2 SO 4 150-200克/升,双氧水H 2 O240-80毫升/升,稳定剂1-10克/升。

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蝕刻液
蝕刻液

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中文名. 蝕刻液 · 原料. 氟化銨、硫酸等 · 種類舉例. 酸性氯化銅、鹼性氯化銅等 · 性質. 銅版畫雕刻用原料 · 蝕刻工藝. 鹽酸氯化銅+空氣體系、鹽酸氯化銅+氯酸鈉體系等 · 英譯.

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CN104919087A
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在半加成法中,用于蚀刻除去作为种子层的非电解镀铜的铜蚀刻液,可以列举例如硫酸/过氧化氢系(专利文献1~3)、盐酸/铜(II)系(专利文献4)、盐酸/亚铁系(专利文献5) ...

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CN101139714A
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生产所述铜蚀刻液组合物的方法包括:(1)在生产槽中按照比例依次加入原材料氯化铵、氯酸钠、盐酸和水,(2)经搅拌至完全溶解后进行检验。所述的铜蚀刻液为单液使用型,可以在 ...