等向性蝕刻意思：半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？

第四章個案分析與結果

https://nccur.lib.nccu.edu.tw

蝕刻技術(Etching Technology)www.tool

https://beeway.pixnet.net

... 蝕刻本質上乃是一種『等向性蝕刻』(isotropic etching)。等向性蝕刻意味著，濕蝕刻不但會在縱向進行蝕刻，而且也會有橫向的蝕刻效果。橫向蝕刻會導致 ...

什麼是蝕刻(Etching)？

http://improvementplan.blogspo

乾蝕刻最大優點即是『非等向性蝕刻』(anisotropic etching)。然而，(自由基Radical)乾蝕刻的選擇性卻比濕蝕刻來得低，這是因為乾蝕刻的蝕刻機制基本上 ...

蝕刻技術

https://www.sharecourse.net

▫ Isotropic (等向性):. ▫ Best to use with large geometries, when sidewall ... 以活性離子蝕刻. 為例，就是利用電漿放電方式進. 行異向性蝕刻的方法。 ▫ 在電漿的 ...

蝕刻(Etching)

http://homepage.ntu.edu.tw

▫ 自由基蝕刻純化學反應. ▫ 高選擇性; 等向性蝕刻. 物理蝕刻. ▫ 用鈍性離子如Ar+進行轟擊. ▫ 從表面物理性地移除物質. ▫ 非等向性輪廓; 低選擇性. ▫ 範例: Ar濺鍍 ...

蝕刻

https://zh.wikipedia.org

乾式蝕刻：透過電漿的解離，形成離子與物質表面進行化學反應或是物理轟擊，屬於非等向性的蝕刻。 · 濕式蝕刻：利用化學的液體與物質進行化學反應。屬於等向性的蝕刻。常用的 ...

3.1 單晶矽非等向性濕式蝕刻

http://rportal.lib.ntnu.edu.tw

由於單晶矽的結晶方式為鑽石立方結構，所以對某些特定的蝕刻液，如. KOH、EDP 或TMAH 來說，在不同結晶方向會呈現不同的蝕刻速率，此特性. 稱為非等向性蝕刻【72】。 其中 ...

乾蝕刻技術

http://mems.mt.ntnu.edu.tw

在進行蝕刻時如果對每個方向(xyz) 的蝕刻速率都一樣則稱為等向性蝕刻. (isotropic etching) ，這種蝕刻線寬會變大而側壁(side wall) 呈弧形，稱額外. 被蝕刻的部份為切底( ...

Chap9 蝕刻(Etching)

http://140.127.114.187

◇乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行，. 這種粒子轟擊的現象，不但可以在被蝕刻的薄膜上進行，. 也可以在光阻上發生。 ◇蝕刻好壞的依據. ➢ 非等向性. ➢ ...