薄膜電阻量測:四點探針電阻量測儀
四點探針電阻量測儀
Sheet Resistance Measurement
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Filmetrics薄膜電阻量測儀利用四點探針(4PP) 和渦流(EC) 兩種技術,來量測或測繪(mapping)金屬層厚度、薄層電阻、薄層電阻率、薄層電導和薄層電導率。
什麼是表面電阻Rs(SHEET RESISTANCE)
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對於這類片狀材料的量測, 表面電阻Rs(SHEET RESISTANCE)這個量測單位就被創造出來了。 表面電阻的數值在於它是材料電性的數據,與xy尺寸無關。 而表面電阻(Rs)是電阻率( ...
四點探針儀器負責人
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利用四根探針接觸到薄膜表面,施加電流而量測電壓的改變值。通常四點探針排列在. 同一直線上,並利用直流電流(I)施加在外側兩根探針,來誘發內部兩根探針之間產生.
四點探針薄膜量測系統
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四點探針量測系統配備四點探針座、精密儀器、以及軟體,用以量測顯示試片的電阻、片電阻、體電阻率、電導率。適用於ITO膜/玻璃、ITO膜/軟性基板、ITO膜/矽晶、矽晶片、導電 ...
數位薄膜電阻計
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四點探針面電阻值測試系統由5601TSR面電阻測試儀、 QT-50手動測試控制台所組成。本系統利用四點探針原 理測量出面電阻值/電阻係數;測量材質為晶圓或ITO膜 等材料。
第一章四點探針電阻量測
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在電子工業中所使用的電子材. 料,從電阻係數、薄膜厚度、到電路寬度都是製程參數的函數如鍍膜真空度、. 溫度、速率等。因此,透過電阻量測往往可以檢測出這些參數在材料與 ...
薄膜電阻
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