卡羅酸:過一硫酸
過一硫酸
卡羅酸
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卡羅酸也稱過氧硫酸,過一硫酸。也稱過氧硫酸,過一硫酸化學式:H2SO5(也可寫成SO3·H2O2)當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸(H2SO5)。H2SO5通常被稱為卡羅酸, ...
最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)
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酸(H2SO4)和過氧化氫(H2O2)混合後,即產生「卡羅酸」(Caro´s Acid-H2SO4);光阻去除時,卡. 羅酸即分解形成自由基和光阻產生化學作用,而將光阻去除。 有機光阻的去除其 ...
濕式化學品在半導體製程中之應用
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利用硫酸及雙氧水生成的卡羅酸,其強. 氧化性及脫水性可破壞有機物的碳氫鍵. 結,而達到去除有機不純物的目的。在. 操作上常以H2. SO. 4. :H. 2. O. 2=2~4:1的體積比,. 在 ...
过一硫酸
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卡罗酸一般指本词条. 过一硫酸是一种无机化合物,其化学式为H2SO5,常温常压下为白色固体。 中文名. 过一硫酸. 外文名. permonosulfuric acid. 别名. 卡罗酸. 化学式. H2SO ...
過一硫酸
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這種酸中硫的氧化態為VI,可以表示為HO-O-S 2-OH。雖然已經製得了過一硫酸的苯甲醯衍生物,但過一硫酸 ... H2SO5 由海因里希·卡羅最初製得,故也稱「卡羅酸」(Caro's acid) ...
過一硫酸
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過氧一硫酸,也稱為過氧硫酸、過硫酸,化學式H2SO5,無色固體,熔點45°C。這種酸中硫的氧化態為VI,可以表示為HO-O-S(O)2-OH。雖然已經製得了過一硫酸的苯甲醯衍生物, ...
過一硫酸
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電子結構式圖片 也稱過氧硫酸,又名卡羅酸 化學式:H2SO5(也可寫成SO3·H2O2) 分子量:114.07 性質:當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸(H2 ...
過一硫酸:簡介,歷史,生產
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基本介紹 · 中文名:過一硫酸 · 英文名:permonosulfuric acid · 別稱:卡羅酸 · 化學式:H2SO5 · 分子量:114.078 · 熔點:45℃ · 沸點:150℃ · 密度:2.239g/cm3 ...
過一硫酸Peroxymonosulfuric Acid
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過一硫酸鹽,H2SO5,也稱為過硫酸鹽、過硫酸鹽或卡羅酸。在這種酸中,S(VI) 中心採用其特有的四面體形狀。連接性由公式HO-O-S(O)2-OH 給出。它是已知最強的氧化劑之 ...