卡羅酸：卡羅酸
卡羅酸
最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)
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酸(H2SO4)和過氧化氫(H2O2)混合後，即產生「卡羅酸」(Caro´s Acid-H2SO4);光阻去除時，卡. 羅酸即分解形成自由基和光阻產生化學作用，而將光阻去除。 有機光阻的去除其 ...
濕式化學品在半導體製程中之應用
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利用硫酸及雙氧水生成的卡羅酸，其強. 氧化性及脫水性可破壞有機物的碳氫鍵. 結，而達到去除有機不純物的目的。在. 操作上常以H2. SO. 4. :H. 2. O. 2=2~4:1的體積比，. 在 ...
过一硫酸
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卡罗酸一般指本词条. 过一硫酸是一种无机化合物，其化学式为H2SO5，常温常压下为白色固体。 中文名. 过一硫酸. 外文名. permonosulfuric acid. 别名. 卡罗酸. 化学式. H2SO ...
過一硫酸
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這種酸中硫的氧化態為VI，可以表示為HO-O-S 2-OH。雖然已經製得了過一硫酸的苯甲醯衍生物，但過一硫酸 ... H2SO5 由海因里希·卡羅最初製得，故也稱「卡羅酸」（Caro's acid） ...
過一硫酸
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過氧一硫酸，也稱為過氧硫酸、過硫酸，化學式H2SO5，無色固體，熔點45°C。這種酸中硫的氧化態為VI，可以表示為HO-O-S(O)2-OH。雖然已經製得了過一硫酸的苯甲醯衍生物， ...
過一硫酸
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電子結構式圖片 也稱過氧硫酸，又名卡羅酸 化學式：H2SO5（也可寫成SO3·H2O2） 分子量：114.07 性質：當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸（H2 ...
過一硫酸:簡介,歷史,生產
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基本介紹 · 中文名：過一硫酸 · 英文名：permonosulfuric acid · 別稱：卡羅酸 · 化學式：H2SO5 · 分子量：114.078 · 熔點：45℃ · 沸點：150℃ · 密度：2.239g/cm3 ...
過一硫酸Peroxymonosulfuric Acid
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過一硫酸鹽，H2SO5，也稱為過硫酸鹽、過硫酸鹽或卡羅酸。在這種酸中，S(VI) 中心採用其特有的四面體形狀。連接性由公式HO-O-S(O)2-OH 給出。它是已知最強的氧化劑之 ...
過一硫酸
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中文名. 過一硫酸 · 外文名. permonosulfuric acid · 別名. 卡羅酸 · 化學式. H2SO · 分子量. 114.078 · 熔點. 45 ℃ · 沸點. 150 ℃ · 密度. 2.239g/cm3.