薄膜製程目的：薄膜技術Thin film www.tool
薄膜技術Thin film www.tool
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TWI512139B
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隨著半導體製程技術的演進，已有愈來愈多的產品需要使用薄膜製程設備，在基板上成長一層薄膜。然而，目前主要用來成長薄膜的方法有幾種，包括蒸鍍法(spattering)、層積法( ...
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〈工業技術與資訊〉先進半導體薄膜設備智慧製程技術
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... 薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上薄膜，依據發光、導電或保護等不同需求，這層薄膜 ...
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先進半導體沉積和蝕刻設備技術發展與產業觀察
https://www.materialsnet.com.t
薄膜製程是在高真空的腔體中、將欲沉積的材料加熱並通入，使此氣體附著於 ... 蝕刻製程的目的是為了製作特定圖樣，透過移除晶圓表面的特定區域來完成 ...
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半導體製程(二)
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鋪字訣的目的是在晶圓上鋪上一層薄膜。依照不同用途，這層薄膜可以是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等絕緣體，也可以是金屬。下面舉例幾個常用的製程。 ... 把晶圓放入烤爐，並通 ...
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薄膜
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在高真空的容器中、將欲沉積的材料加熱直至汽化升華、並使此氣體附著於放置在附近的基板表面上、形成一層薄膜。依沉積材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 ...
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薄膜、薄片製造中的塗佈和塗裝
https://www.keyence.com.tw
KEYENCE「製程中的『塗佈』」， ... 在此根據黏合（積層）和鍍膜（功能附加和表面處理）的各目的對薄膜和薄片上的塗佈進行分類和說明。
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薄膜技術之現況與展望
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