johnsen-rahbek原理：今天讲讲静电卡盘（ESC）

今天讲讲静电卡盘（ESC）

...Johnsen-Rahbek）类。两类吸盘都靠静电荷的同性相吸来固定硅片；吸盘与晶片接触...原理上对于玻璃、蓝宝石类的负载吸附和释放chuck/Dechuck，开始出现吸不住，放不开的 ...。其他文章還包含有：「■什麼是靜電吸盤WhatisElectrostaticChuck?」、「威思曼高压电源应用于静电吸盘领域」、「產品資訊」、「雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討」、「電極電壓對靜電式晶圓座(ESC)晶圓釋放的影響研究」、「静电固持的工作方式是...

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■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

https://edragontek.weebly.com

專利 “庫倫力型” 靜電吸盤的原理，與其它產品很不相同。專利庫倫力型電力場為“靜止”電子產生，非摩擦靜電產生之電子或能量很高之自由電子產生。 (2) Johnsen-Rahbek ...

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威思曼高压电源应用于静电吸盘领域

https://www.wismanhv.com

静电吸盘的构造和原理 1.种类：基本分为两类。即库仑类和迥斯热背（JR或Johnsen-Rahbek）类。两类吸盘都靠静电荷的同性相吸来固定硅片；吸盘与晶片 ...

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產品資訊

https://www.calitech.com.tw

庫侖式靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。陶瓷層中有夾一層導電電極層，當電極被接通到高壓直流電源後，介電質的表面會產生極化電荷，分佈在晶片背面的 ...

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雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討

http://ntur.lib.ntu.edu.tw

靜電吸盤ESC 吸附晶片原理是靠其加在下 ... 生的靜電吸附壓力效應，稱為Johnson Rahbek effect ... 本文，對於雙極式靜電吸盤之吸附特性. 及原理做一系列探討，並建構出晶圓與 ...

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電極電壓對靜電式晶圓座(ESC)晶圓釋放的影響研究

https://ir.lib.nchu.edu.tw

... Johnsen-Rahbek type electrostatic chuck for semiconductor processes”, J.Appl.Phys, 102,064901, 2007. [14] Gyu Il SHIM、Takeshi YAMAUCHI、Hideo SUGAI ...

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