johnsen-rahbek原理：電極電壓對靜電式晶圓座(ESC)晶圓釋放的影響研究

■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

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​​專利​ “庫倫力型” 靜電吸盤的原理​，與其它產品很不相同。 ​專利庫倫力型​電力場為“靜止”電子產生，非摩擦靜電產生之電子或能量很高之自由電子產生。 (2) Johnsen-Rahbek ...

今天讲讲静电卡盘（ESC）

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... Johnsen-Rahbek）类。 两类吸盘都靠静电荷的同性相吸来固定硅片；吸盘与晶片接触 ... 原理上对于玻璃、蓝宝石类的负载吸附和释放chuck/Dechuck，开始出现吸不住，放不开的 ...

威思曼高压电源应用于静电吸盘领域

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静电吸盘的构造和原理 1.种类：基本分为两类。即库仑类和迥斯热背（JR或Johnsen-Rahbek）类。两类吸盘都靠静电荷的同性相吸来固定硅片；吸盘与晶片 ...

產品資訊

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庫侖式靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。陶瓷層中有夾一層導電電極層，當電極被接通到高壓直流電源後，介電質的表面會產生極化電荷，分佈在晶片背面的 ...

雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討

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靜電吸盤ESC 吸附晶片原理是靠其加在下 ... 生的靜電吸附壓力效應，稱為Johnson Rahbek effect ... 本文，對於雙極式靜電吸盤之吸附特性. 及原理做一系列探討，並建構出晶圓與 ...

静电固持的工作方式是什么样的？

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静电力的产生基于两种原理，即所谓的Johnsen-Rahbek 效应和库仑力。 两种类型都依赖于施加到一个或多个电极上的高电压。在Johnsen-Rahbek 夹盘中， ...

靜電吸盤的基本構造和原理

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靜電吸盤的構造和原理對很多人來說都還是很陌生的。這裡有詳細說明。 1。種類：基本分為兩類。即庫侖類和JR或Johnsen-Rahbek。 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來 ...

靜電盤的吸附原理

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