Half Tone mask：你对Mask的了解可能是错的！在LGD和三星产线上的 ...
你对Mask的了解可能是错的！在LGD和三星产线上的 ...
Half Tone Mask
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Half Tone Mask是利用「半透過」的膜，來進行半曝光。因是在1次曝光過程後即可呈現出「曝光部分」「半曝光部分」及「未曝光部分」之3種曝光層次，故在顯影後能夠形成2 ...
Halftone mask and method for making pattern substrate ...
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A halftone mask includes translucent film patterns for forming a middle gradation area and light blocking film patterns disposed to an entire periphery of ...
IC光罩應用介紹及其未來發展
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光罩(Half Tone Phase Shift Mask, HTPSM). 為目前工業界使用的主要種類。半透式 light source photomask semiconductor wafer. Cell design. Required pattern on mask.
Mask Blanks
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製品情報. TFT-LCD 彩色濾光片用鍍膜玻璃 · Mask Blanks · 大型Mask Blanks · Half Tone Mask. Mask Blanks. 電腦及電子產品是當今社會及經濟的基礎，這些產品的核心是 ...
光罩
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另一方面，Half-tone mask是利用「半透過」的膜，來進行半曝光。因為以上兩種方式皆是在1次的曝光過程後即可呈現出「曝光部分」「半曝光部分」及「未 ...
光罩基板
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而製作光罩的基礎材料，即光罩基板(Mask Blanks)。最主要的產品依基板特性分為Binary及Half-Tone(KrF/ArF)兩種，若再依所塗佈的光阻分類，可再細分成Optical resist及E ...
光罩工業及其製程技術之探討
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... Half Tone Phase Shift Mask）。業界使用的半透光材料主要是氮氧基矽化鉬（MoSiOxNy），日本供應商已用MoSiOxNy做出6%透光率的空白片（mask blanks），適用193nm波長 ...
具有多重半透光部之半調式光罩及其製造方法
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A half tone mask is characterized in that the half tone mask having at least one or more half permeation parts capable of adjusting a transmittance by ...