sdbg製程:半導體封裝SDBG製程中隱形切割與參數最適化之研究

半導體封裝SDBG製程中隱形切割與參數最適化之研究

半導體封裝SDBG製程中隱形切割與參數最適化之研究

本研究針對3DNAND之薄型矽晶圓,採用雷射隱形切割後的品質改善進而研究優化之參數,並探討如何維持穩定的隱形切割品質。本論文參數設計以雷射功率及頻率為主,進行實驗後 ...。其他文章還包含有:「DBGSDBG製程」、「DBG(DicingBeforeGrinding)製程」、「DBGSDBG」、「DISCO於半導體展推出SDBG解決方案」、「SDBG(StealthDicingBeforeGrinding)工艺」、「SDBG(StealthDicingBeforeGrinding)製程」、「SDBG製程之研磨用保護膠帶...

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DBG  SDBG製程
DBG SDBG製程

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降低Kerf Shrink、Kerf Shift,黏著劑層可進行Full Cut Laser Dicing; 不需膠帶擴片製程即可進行DAF擴片; 具易撿晶功能,可有效達到高品質極薄晶片之製造生產 ...

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DBG(Dicing Before Grinding)製程
DBG(Dicing Before Grinding)製程

https://www.disco.co.jp

DBG製程. DBG就是將原來的「背面研磨→切割晶片」的製程程序進行逆向操作,先對晶片進行半切割加工,然後利用背面研磨使晶片分割成晶粒的技術。經通運用該技術,能有效 ...

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DBGSDBG
DBGSDBG

https://www.disco.co.jp

DBG就是將原來的「背面研磨→切割晶片」的製程程序進行逆向操作,先對晶片進行半切割加工,然後利用背面研磨使晶片分割成晶粒的技術。經通運用該技術,能有效地抑制分割 ...

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DISCO於半導體展推出SDBG解決方案
DISCO於半導體展推出SDBG解決方案

https://www.digitimes.com.tw

SDBG是極薄晶圓的解決方案,改變以往先研磨再切割的傳統製程,先以隱形雷射進行切割,再進行研磨工程,大幅縮減晶圓的切割道寬度,同時提高抗折強度 ...

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SDBG(Stealth Dicing Before Grinding)工艺
SDBG(Stealth Dicing Before Grinding)工艺

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SDBG是使用隐形切割加工在晶圆内部形成变质层,再以此变质层为起点进行分割,最后通过研磨去除变质层部分的制程工艺。 因此,SDBG工艺不仅可以减少表面、背面的崩裂 ...

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SDBG(Stealth Dicing Before Grinding)製程
SDBG(Stealth Dicing Before Grinding)製程

https://www.disco.co.jp

SDBG製程是於隱形切割加工後進行背面研磨的技術,可實現薄型晶片的切割道狹窄化以及抗折強度的提升。 經由與分離擴片機(DDS Series)的組合運用,可將薄型晶片積層時作為 ...

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SDBG製程之研磨用保護膠帶BG Tape
SDBG製程之研磨用保護膠帶BG Tape

https://www.lintec.com.tw

可對應DISCO Corporation提倡的SDBG製程之研磨用保護膠帶。 對晶圓回路面具優良的貼附性,透過抑制Kerf Shift的技術,降低晶圓破損風險,實現極薄晶片製造。

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【Adwill】DBG  SDBG Process
【Adwill】DBG SDBG Process

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