gate first gate last比較:台積電28nm製程節點轉向Gate
台積電28nm製程節點轉向Gate
Foundry 製程戰爭系列- 二、三線晶圓廠的掙扎
https://benchlife.info
Gate-last 在功耗控制能力上比較優秀,但是製程工序比較複雜,但複雜的工序可以靠燃燒新鮮肝臟解決,Vt 臨界電壓必須透過材料的調配、精確的熱處理與蝕刻 ...
HKMG來龍去脈
https://www.twblogs.net
gate first與gate last各自的優缺點. gate last的柵極甚至部分柵介電層避開了高溫步驟,所以材料選擇非常寬鬆,可以考慮高性能的材料。而且gate last的 ...
HKMG来龙去脉
https://blog.csdn.net
gate first与gate last各自的优缺点. gate last的栅极甚至部分栅介电层避开了高温步骤,所以材料选择非常宽松,可以考虑高性能的材料。而且gate last的 ...
TSMC 28nm gate last gate first foundry 2010 2011
http://cosmos886to.blogspot.co
針對Gate-First和Gate-Last之爭,目前選擇Gate ... 比較好,也不會比較貴。 蔣尚義大膽預測,Gate ... An added advantage of metal gates is that a common ...
Why PolySi → HKMG
https://hackmd.io
... 比較好,反而跟Polysilicon接面不好。 HKMG都是用ALD做。 演進從gate first → HK first Gate last → HKMG last; 隨製程演進,gate oxide要求越薄,當 ...
成果報告資料顯示
http://www.etop.org.tw
... (Gate First Process)轉至閘極後製製程(Gate Last Process)。 本計畫第一年度將比較閘極後製製程(Gate-Last)與傳統之閘極優先製程(Gate-First) 相比較下,分析元件特性 ...
新聞室
https://www.umc.com
详解Gate
https://www.eechina.com
前些天,经常看到到某公司采用Gate-first工艺、某公司采用Gate-last工艺的新闻。究竟这两种工艺是怎么回事,本人确实不清楚,新闻里也没有给个交代。