gate first gate last比較：HKMG來龍去脈

Foundry 製程戰爭系列－ 二、三線晶圓廠的掙扎

https://benchlife.info

Gate-last 在功耗控制能力上比較優秀，但是製程工序比較複雜，但複雜的工序可以靠燃燒新鮮肝臟解決，Vt 臨界電壓必須透過材料的調配、精確的熱處理與蝕刻 ...

HKMG来龙去脉

https://blog.csdn.net

gate first与gate last各自的优缺点. gate last的栅极甚至部分栅介电层避开了高温步骤，所以材料选择非常宽松，可以考虑高性能的材料。而且gate last的 ...

TSMC 28nm gate last gate first foundry 2010 2011

http://cosmos886to.blogspot.co

針對Gate-First和Gate-Last之爭，目前選擇Gate ... 比較好，也不會比較貴。 蔣尚義大膽預測，Gate ... An added advantage of metal gates is that a common ...

Why PolySi → HKMG

https://hackmd.io

... 比較好，反而跟Polysilicon接面不好。 HKMG都是用ALD做。 演進從gate first → HK first Gate last → HKMG last; 隨製程演進，gate oxide要求越薄，當 ...

台積電28nm製程節點轉向Gate

https://xljlee.pixnet.net

Intel在其發布的《45nm High-k+Metal Gate Strain-Enhanced Transistors》中對Gate-last和Gate-first的工步區別對比. 說明：Gate-last是用於製作金屬 ...

成果報告資料顯示

http://www.etop.org.tw

... (Gate First Process)轉至閘極後製製程(Gate Last Process)。 本計畫第一年度將比較閘極後製製程(Gate-Last)與傳統之閘極優先製程(Gate-First) 相比較下，分析元件特性 ...

新聞室

https://www.umc.com

详解Gate

https://www.eechina.com

前些天，经常看到到某公司采用Gate-first工艺、某公司采用Gate-last工艺的新闻。究竟这两种工艺是怎么回事，本人确实不清楚，新闻里也没有给个交代。