high k材料:以第一原理研究High
以第一原理研究High
360°科技-High
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High-k材料,如HfO2 ZrO2及TiO2,天生具有超過二氧化矽3.9的介電常數或k值。k值越高,電晶體之電容值也越高,使得電晶體能正確的切換於”開”或”關”狀態 ...
High K, Low-K Precursor
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自1981年起,開始高純度氯氣的生產以來,身為高純度氣體與CVD用材料的先驅者;ADEKA一直致力於對半導體、平面顯示器、光電通信等各領域的發展作出貢獻。透過與客戶間良好之 ...
High K? Low K?
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k指的是介电常数,衡量材料储存电荷能力。按介电常数的高低分为低介电(low-k)材料和高介电(high-k)材料。一般low-k材料介电常数低于3.0;high-k材料 ...
High
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High-K材料是製造半導體用的高純度前驅物,以原子級的厚度沉積在DRAM電容上。電容是DRAM的重要組成部分,可以決定DRAM的效能,因此High-K材料的品質至關 ...
Low k、High k到底在幹嘛?
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解決寄生電阻後,寄生電容問題一樣以換替材料的方式來解決,原本的絕緣材質其絕緣性太高,所以要換替成低絕緣性的材料,也就是低介電值的材料。 關於此, ...
半導體IC絕緣膜面臨技術革新
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High-K 材料的絕. 緣膜係以原子層成長為1 個分子大小的. 厚度,相關的成膜設備需. 求殷切。 廠商動態. 1.日本半導體先端技術. Selete. 由日本10 家半導體大. 廠共同出資 ...
高介電係數與低損耗材料之先進測量技術
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... High-k)材料取代以往的二氧化矽絕緣氧化層必定是不可避免的。那麼如何量測高介電材料的特性就是一門非常關鍵的技術,首先,我們提出修正空腔微擾法 ...
高介電常數蒸鍍材料
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高介電絕緣層對先進金氧半場效應電晶體元件影響之研究
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為了克服此問題,於是造. 就元件的演進,甚至從元件取代材料著手,目前已知把氧化層材料由原先的二氧化矽氧化層,. 改為使用High-κ 材料,即高介電絕緣層,更能降低閘極 ...