光 罩 清洗 劑
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CN102078869B
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臭氧清洗设备的清洗流程为：采用短波长的紫外光照射所述光罩；采用含臭氧的水溶液清洗所述光罩；采用去离子水清洗所述光罩；然后再采用SC1溶液(主要成分为H 2O 2与氨水的 ...
CN105838507A
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所述清洗方法包括：将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污，再取出光罩用水冲洗；将经碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由上述光罩 ...
Electro Scrub 清潔化學液
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EBR不僅提供晶圓邊光阻去除的解決方案，同時也可以去除晶圓邊的微粒與多餘光阻。 ... Inc也提供了先進光罩同時可去除光阻與底部抗反射層(BARC)製程的清潔產品。
TW201624107A
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本實施例提供一種光罩清潔設備，用以清潔一光罩，上述光罩包括一基板以及與上述基板相互間隔之一保護膜。上述光罩清潔設備包括一超音波裝置，用以產生一超音波至上述 ...
TWI673566B
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本發明涉及一種光罩洗淨設備以及光罩洗淨方法，用以清潔一光罩，上述光罩包含有一基板以及與上述基板相互間隔之一保護膜，其包含有一機座、一傳輸裝置及一清洗裝置，該 ...
光罩清洗剂及清洗方法
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所述清洗方法包括：将光罩置于碱液中浸泡，并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污，再取出光罩用水冲洗；将经碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好，采用由上述光罩 ...
光罩清洗機
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1. 光罩尺寸：7x7, 9x9, 14x14 · 2. 清洗方式：化學液滴洗(離心力)+高壓純水掃洗 · 3. 使用藥液：雙氧水+硫酸，介面活性劑+氨水混合，丙酮(IPA) · 4. 輔助清洗方式： ...
光罩清洗機MDMC
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SPIN旋轉清洗形式，有效去除光罩表面附著污物之洗淨及去除 因應各種產品尺寸，更換固定治具即可作業，提升機台功能性 搭配超音波水洗清洗，去污力提升
微影光罩的不同清洗方法的效果比較
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目前已發表的改善方法各有其優缺點，此研究整理比較各光罩清. 洗方法的離子殘留去除效率，以及清洗後對於光學性質的影響，包括. 相損失（phase loss）、穿透度（ ...
微影光罩的不同清洗方法的效果比較
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其中來自光罩清洗過程的硫離子或銨離子殘留，被視為Haze形成的主要貢獻者，故國內外學者著手改善光罩清洗方法，以降低Haze的產生。 目前已發表的改善方法各有其優缺點，此 ...