光 罩 清洗 劑:光罩清洗機
光罩清洗機
CN102078869B
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臭氧清洗设备的清洗流程为:采用短波长的紫外光照射所述光罩;采用含臭氧的水溶液清洗所述光罩;采用去离子水清洗所述光罩;然后再采用SC1溶液(主要成分为H 2O 2与氨水的 ...
CN105838507A
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所述清洗方法包括:将光罩置于碱液中浸泡,并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污,再取出光罩用水冲洗;将经碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好,采用由上述光罩 ...
Electro Scrub 清潔化學液
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EBR不僅提供晶圓邊光阻去除的解決方案,同時也可以去除晶圓邊的微粒與多餘光阻。 ... Inc也提供了先進光罩同時可去除光阻與底部抗反射層(BARC)製程的清潔產品。
TW201624107A
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本實施例提供一種光罩清潔設備,用以清潔一光罩,上述光罩包括一基板以及與上述基板相互間隔之一保護膜。上述光罩清潔設備包括一超音波裝置,用以產生一超音波至上述 ...
TWI673566B
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本發明涉及一種光罩洗淨設備以及光罩洗淨方法,用以清潔一光罩,上述光罩包含有一基板以及與上述基板相互間隔之一保護膜,其包含有一機座、一傳輸裝置及一清洗裝置,該 ...
光罩清洗剂及清洗方法
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所述清洗方法包括:将光罩置于碱液中浸泡,并用无尘布擦拭去除光罩两面明显的油污,再取出光罩用水冲洗;将经碱液清洗步骤处理后的光罩置于洗版架上固定好,采用由上述光罩 ...
光罩清洗機MDMC
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SPIN旋轉清洗形式,有效去除光罩表面附著污物之洗淨及去除 因應各種產品尺寸,更換固定治具即可作業,提升機台功能性 搭配超音波水洗清洗,去污力提升
微影光罩的不同清洗方法的效果比較
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目前已發表的改善方法各有其優缺點,此研究整理比較各光罩清. 洗方法的離子殘留去除效率,以及清洗後對於光學性質的影響,包括. 相損失(phase loss)、穿透度( ...
微影光罩的不同清洗方法的效果比較
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其中來自光罩清洗過程的硫離子或銨離子殘留,被視為Haze形成的主要貢獻者,故國內外學者著手改善光罩清洗方法,以降低Haze的產生。 目前已發表的改善方法各有其優缺點,此 ...