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nf3溫室氣體

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三氟化氮
三氟化氮

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三氟化氮(NF3)在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,為一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中是一種優良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子, ...

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三氟化氮
三氟化氮

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三氟化氮(NF3)是鹵化氮中最穩定的無機化合物,可在銅的催化下由氨氣與氟氣製成。 它可以用作氟化氫雷射器的氧化劑,半導體、液晶和薄膜太陽能電池生產過程中的蝕刻劑。

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三氟化氮最強力的溫室氣體現身
三氟化氮最強力的溫室氣體現身

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三氟化氮,化學式NF3,迄今為止最強力的溫室氣體現身了。 NF3多用於製造平面電視、電腦顯示器、小型電路和太陽能版,是一種比二氧化碳強上17000倍的溫室氣體,而且分佈在大氣中的程度遠比之前預測的要多很多。 根據加州大學聖地牙哥校區的科學家研究, NF3在大氣中至少是之前科學家預測的四倍。

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三氟化氮(NF3)在半導體及TFT
三氟化氮(NF3)在半導體及TFT

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不過NF3與CF4、C2F6等氣體都屬於多氟碳化物,是造成溫室效應的來源之一。半導體廠 ... 半導體廠為了降低排氣對溫室效應的影響,在排放含氟廢氣前,會以高溫(攝氏700、800度才 ...

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下載及出版品
下載及出版品

https://www.cca.gov.tw

下載及出版品. 下載及出版品. 社群分享. Facebook; LINE; X. 列印. 溫室氣體排放清冊報告 · 溫室氣體國家報告 · 調適通訊 · 氣候變遷專有名詞 · 相關文件下載. :::.

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但溫室氣體至少有下列七種:
但溫室氣體至少有下列七種:

https://www.tpce.org.tw

三氟化氮(NF3),主要在電腦製造過程中排放。 而二氧化碳(CO2)是對環境威脅最大的溫室氣體,不僅因為排放量大,且在大. 氣中會存在數百年以上,也因此,大多數國家 ...

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氣候變遷因應法§3
氣候變遷因應法§3

https://law.moj.gov.tw

一、溫室氣體:指二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、氧化亞氮(N2O)、氫氟碳化物(HFCs)、全氟碳化物(PFCs)、六氟化硫(SF6)、三氟化氮(NF3)及其他經中央主管機關公告者。

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溫室氣體與溫室效應是甚麼呢?
溫室氣體與溫室效應是甚麼呢?

https://www.more-ml.com

... 【NF3】 六氟化硫【SF6】、氫氟碳化物【HFCS】、全氟碳化物【PFCS】 讓我們地球的保護罩越來越厚。 後來就是我們現在感受到的極端氣候極度寒冷、極度炎熱所以減少溫室氣體 ...

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運用實驗設計法找出廢氣處理設備去除三氟化氮(NF3)氣體之 ...
運用實驗設計法找出廢氣處理設備去除三氟化氮(NF3)氣體之 ...

https://ndltd.ncl.edu.tw

隨著半導體業產業奈米製程科技發展進步,產品晶片規格不斷微縮,使用的製程氣體卻大幅上升,然而製程氣體中使用到的溫室氣體包含三氟化氮(NF3)、二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、 ...