何謂薄膜製程

〈工業技術與資訊〉先進半導體薄膜設備智慧製程技術

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半導體是臺灣在全球高科技版圖的代名詞，而半導體的薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上 ...

何謂薄膜(Membrane Filter)? 歡迎蒞臨鼎新知識學院網站

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薄膜材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。電子半導體功能器件和光學鍍膜是薄膜技術的主要應用。 一個很為人們熟知的表面技術的應用是家用的鏡子： ...

半導體製程(二)

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鋪字訣的目的是在晶圓上鋪上一層薄膜。依照不同用途，這層薄膜可以是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等絕緣體，也可以是金屬。下面舉例幾個常用的製程。 ... ​把晶圓放入烤爐，並通 ...

晶圓級光學薄膜製程

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晶圓級光學薄膜製程. 什麼是晶圓級光學薄膜（On Chip Multi-Film OCMF）？ 晶圓級光學薄膜製程可以篩選進入感測器的光波段。一般的感測器允許所有波長的光通過（包括 ...

薄膜

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在高真空的容器中、將欲沉積的材料加熱直至汽化升華、並使此氣體附著於放置在附近的基板表面上、形成一層薄膜。依沉積材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 ...

薄膜技術Thin film www.tool

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薄膜製程為一個極為要的關鍵步驟，其主要用途為低阻閘電極、元件間連線、導體(線)接觸、擴散障礙層，如圖七(a)。另外，光學薄膜製程技術一直是光學 ...

薄膜技術之現況與展望

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越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術

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圖一、成長材料AB的ALD製程循環。 什麼是原子層沈積？ 原子層沈積(Atomic Layer Deposition, ALD) 是一種可以將材料一層一層成長的薄膜製程技術，一般常見的ALD製程由 ...