旋轉塗佈

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旋轉塗佈屬於濕式鍍膜，其基材以真空接吸方式，於物件中心落下塗佈液體，利用旋轉離心力的方式平均散布液體於物件上並快速甩出多於液體並令其形成一層薄膜。

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旋轉塗佈是一種沉積薄膜在平坦基底上的方法。將少量溶膠或凝膠塗佈在基底的中心，接著將基材在高速旋轉下利用離心力散布塗料，繼續轉動使流體旋轉至基 ...

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旋轉塗佈在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生，由於不需要真空，而且薄膜可以大量快速地在基板上塗佈，成本極低適合工廠大量生產，但是塗佈的材料必須能夠溶解在化學 ...

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旋轉塗佈為利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗. 料進行厚度均勻化的製程。 Page 5. 旋轉塗佈步驟. Step1：Substrate on Vacuum Chuck. Step ...

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旋轉塗佈機,spin coaters,利用真空吸住基板,將欲塗佈的化學物質,如:光阻劑,由上方噴嘴滴下,藉由旋轉的離心力將物質均勻散佈,塗佈膜的厚度則視化學物質黏度,以及旋轉 ...

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「旋轉塗佈機」是利用旋轉離心力的塗佈裝置，也稱為「旋塗機」。它可以在平滑的被塗佈物體（工件）上獲得薄而均勻的塗膜。典型用途十分廣泛，包括從以半導體晶圓的表面處理 ...

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旋轉塗覆是一種高速成膜方法，可以得到均勻的薄膜，均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備。它利用旋轉產生的離心力，將溶膠、溶液或懸濁液等均勻平鋪到襯底 ...

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... 旋轉塗佈(spin coating)或浸塗法(dip coating)來製作高分子薄膜。近年來也有人利用噴墨式製程技術(Ink-Jet Printing; IJP)來製. 作。與小分子的成膜方式相較之下，高 ...