離子植入機各部位用途

Ch8 Ion Implantation

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可獨立地控制摻雜物的分佈(離子的能量)和濃. 度(離子束的電流和佈植時間). 2. 非等向性的摻雜物分佈. 3. 易於達成較大的原子量如磷、砷之高濃度摻雜.

TWI567775B

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在植入機裝置中的一或多個部件(該等部件在該系統中的離子植入處理過程中在其上累積有與電離作用有關的沈積物)可以是任何合適的類型，例如，真空室、電弧室、電極、絲極、高壓 ...

TWI597759B

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離子植入裝置一般具備將離子源、引出電極、質量分析磁鐵裝置、質量分析狹縫、射束掃描儀、射束平行化裝置、加速和減速裝置、角能量過濾器(AEF：Angular Energy Filter) ...

大面積離子植入應用於

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低溫複晶矽使用的離子植入機與半. 導體製程中的Implanter類似，具有質量. 分析器，可以精確控制被植入雜質的劑. 量與種類，其原理主要是利用磁場加速. 對於不同雜質具有不同的 ...

奇普島之半導體歷險

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第八章離子佈植

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• 佈植的離子將能量轉移到晶格原子. – 原子被撞離. • 自由的原子與其它晶格 ... 離子佈植機示意圖. 氣體匱. 離子源. 真空幫浦. 真空幫浦. 電機系統. 電機系統. 磁場分. 析 ...

離子植入

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應用材料產品系列含有業界常用的四類型植入系統。 其中三類是屬於視線離子束流系統：高電流(可供低能量和/或高劑量應用)；中電流(供較低劑量)；高能源(供非常深的植入)。 ...

離子植入機：翔名(8091)半導體設備的核心業務

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傳統上，離子植入機的減速方式有二，一是直接減速，二是一次彎減速，而漢辰的創新突破，就是建立起「兩次彎」的減速專利。，這個減速專利的突破，讓原本10,000 ...