靜電吸盤原理

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使用靜電吸盤之優勢如下：. 1、為整接觸面吸附，可吸附鏤空箔板。 2、使用靜電力吸附，可在真空環境下使用。 3、傳統機械夾持邊緣會有夾痕，靜電吸盤無此問題。

■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

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靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。 圖片. □靜電吸盤的種類 (1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤. “ ...

什麼是靜電吸盤

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靜電吸盤是利用『靜電的力量』去吸附對象物的一種裝置。 靜電吸盤上存在著正電極與副電極，只是肉眼看不見。對象物被靜電吸盤吸附的狀態下，內部的 ...

產品資訊

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庫侖式靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。陶瓷層中有夾一層導電電極層，當電極被接通到高壓直流電源後，介電質的表面會產生極化電荷，分佈在晶片背面的 ...

開發半導體產業鏈之國產靜電力吸盤計畫

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靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic. Chuck，簡稱ESC 或靜電力吸盤)。ESC 原理. 是藉由施加超過1500 伏的高電壓於電極承. 載板上產生靜電力，而使電極承載板和晶圓.

静电吸盘的概要筑波精工株式会社

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静电吸盘的吸附方式有两种工作原理，分别是将绝缘材料作为电介质使用的库伦力类型以及在工件与电介质界面的细小裂缝中流入微弱电流，形成介电极化并激发约翰森-拉别克效应 ...

靜電吸盤的基本構造和原理

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靜電吸盤的基本構造和原理 · 1。種類：基本分為兩類。 · 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來固定Wafer。 · 3。吸盤與晶片接觸的表面有一層電介質。 · 4。在吸盤的電介質層中 ...

靜電吸盤解決方案

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靜電盤的吸附原理

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以Johnson-Rahbek所主導的靜電吸盤，是透過調整介電層的絕緣性，以少量通過的電流來吸附對象物。將內部電極加壓電壓後，電荷慢慢地往表面移動，產生虛擬電極。產生的虛擬 ...