靜電吸盤結構
「靜電吸盤結構」熱門搜尋資訊
靜電吸盤的基本構造和原理
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1。種類：基本分為兩類。 · 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來固定Wafer。 · 3。吸盤與晶片接觸的表面有一層電介質。 · 4。在吸盤的電介質層中鑲嵌著一個直流電極（大小與硅 ...
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
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(2) 靜電吸盤表層將會極化，並且對被吸附物表面產生吸力。 (3) 吸附力只產生在靜電吸盤電極與被吸附物表面之間。 (4) 被吸附物的表面極 ...
静电吸盘的概要筑波精工株式会社
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静电吸盘的吸附方式有两种工作原理，分别是将绝缘材料作为电介质使用的库伦力类型以及在工件与电介质界面的细小裂缝中流入微弱电流，形成介电极化并激发约翰森-拉别克效应 ...
電子相關產品靜電卡盤
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靜電吸盤是對內部的電極施加電壓，並通過庫侖力（靜電力）將目標吸附固定住。比起機械和真空方式有更多優點，如均勻的吸附性以及真空環境的兼容性等。 本公司的靜電吸盤 ...
技術應用
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氧化鋁&鎢多層次噴塗的雙極結構 · 摻雜介電質於陶瓷塗層形成JR靜電吸盤 · 工作電壓<2000V DC · 客製化尺寸和形狀因應各種自動化應用 · 大氣和真空環境下皆可使用 · +/-2000V ...
CN102834913A
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一种静电吸盘，具备：绝缘基体(2)、和吸附用电极(3)，其特征在于，所述绝缘基体(2)的至少包括上表面的区域由陶瓷构成，所述陶瓷包含Mn，并且包含由Fe以及Cr中的至少一种 ...
什麼是靜電吸盤
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什麼是靜電吸盤(E-Chuck,ESC). 靜電吸盤是利用『靜電的力量』去吸附對象物的一種裝置。 靜電吸盤上存在著正電極與副電極，只是肉眼看不見。對象物被靜電吸盤吸附的狀態 ...
TW201347079A
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在真空室50設置有氣體導入裝置52及/或上部電極53等。靜電吸盤1也兼具下部電極，在該下部電極(靜電吸盤1)與上部電極53連接有高頻電源54。一將高頻施加於下部電極1與上部電極 ...
【原创】静电卡盘，“卡”了我们的脖子，它到底是啥？
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一个典型的静电吸盘夹持系统是一个三明治结构包括三部分：电介质吸附层、电极层、基底层，三部分都以层状结构叠合在静电吸盘内自表层到底座依次为电介质 ...