dnq光阻:顯影液
顯影液
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CN1280676C
https://patents.google.com
正型光阻剂目前主要用在IC产业中作为薄膜光阻,可依曝光光源分为I-Line的DNQ/Novolac系统及深紫外光的化学增幅型系统两种。DNQ/Novolac系统光阻剂的涂布厚度一般约为0.5~ ...
![DNQ](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/DNQ-Novolak%E5%85%89%E9%98%BB%E6%96%BCX%E5%85%89%E6%9B%9D%E5%85%89%E4%B8%8B%E4%B9%8B%E7%89%B9%E6%80%A7%E7%A0%94%E7%A9%B6.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
DNQ
https://ndltd.ncl.edu.tw
隨著微影技術的蓬勃發展,使半導體技術可以在相同的面積下設計更多的電路,也因此產生許多速度更快,功能更多,容量更大電子產品,其中在微影技術中扮演關鍵角色的光阻 ...
![KrF深紫外光光阻劑之發展及現況](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/KrF%E6%B7%B1%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91%E4%B9%8B%E7%99%BC%E5%B1%95%E5%8F%8A%E7%8F%BE%E6%B3%81.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
KrF深紫外光光阻劑之發展及現況
https://www.materialsnet.com.t
因此,. Novolac/DNQ i-line光阻並不適用於深紫. 外光微影製程,深紫外光的微影技術需. 要革命性的光阻成像機制,才足以克. 服。 化學增幅型光阻系統. 之基本原理. 為了 ...
![光阻劑](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91-+%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E8%A3%BD%E7%A8%8B.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
光阻劑
http://homepage.ntu.edu.tw
負光阻及正光阻. 基片. 光阻. 4. 光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子. 2. 允許光阻藉 ... 倍縮光罩上的圖案轉到光阻上. • 三個基本步驟: 顯影, 洗滌, 旋乾. 正光阻.
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光阻劑
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光阻劑(英語:photoresist),亦稱為光阻或光阻劑,是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後,溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料,是微影製程中 ...
![光阻與顯影液](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%85%89%E9%98%BB%E8%88%87%E9%A1%AF%E5%BD%B1%E6%B6%B2.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
光阻與顯影液
https://www.hlv.com.tw
以DNQ-Novalak型光阻為例,在曝光過程中,感光劑DNQ,會進行光化學反應,形成所謂的光酸,Photo-acid。 正型光阻下,顯影就是將曝光區域除去;而負型光阻則是去除 ...
![半導體光阻材料技術](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E5%85%89%E9%98%BB%E6%9D%90%E6%96%99%E6%8A%80%E8%A1%93.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
半導體光阻材料技術
https://www.materialsnet.com.t
G-line/I-line光阻劑的主要組成為酚醛樹脂(Novolac Resin)與感光物重氮萘(Diazo-naphtho-quinon; DNQ)。酚醛樹脂在鹼性顯影劑水溶液中相對容易溶解,但當 ...
![基於酚醛清漆樹脂/重氮萘醌(dnq)之化學增幅型光阻](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E5%9F%BA%E6%96%BC%E9%85%9A%E9%86%9B%E6%B8%85%E6%BC%86%E6%A8%B9%E8%84%82%EF%BC%8F%E9%87%8D%E6%B0%AE%E8%90%98%E9%86%8C%EF%BC%88dnq%EF%BC%89%E4%B9%8B%E5%8C%96%E5%AD%B8%E5%A2%9E%E5%B9%85%E5%9E%8B%E5%85%89%E9%98%BB.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
基於酚醛清漆樹脂/重氮萘醌(dnq)之化學增幅型光阻
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本發明係關於光阻組合物,其包含聚合物組分、光酸產生劑組分(PAG)、光敏性重氮萘醌組分(PAC)、鹼組分、溶劑組分及視情況選用之雜環硫醇組分。該聚合物組分為酚醛清漆 ...
![永光邁向晶圓級封裝市場布局化學增幅型光阻劑](https://i0.wp.com/api.multiavatar.com/%E6%B0%B8%E5%85%89%E9%82%81%E5%90%91%E6%99%B6%E5%9C%93%E7%B4%9A%E5%B0%81%E8%A3%9D%E5%B8%82%E5%A0%B4%E5%B8%83%E5%B1%80%E5%8C%96%E5%AD%B8%E5%A2%9E%E5%B9%85%E5%9E%8B%E5%85%89%E9%98%BB%E5%8A%91.png?apikey=viVnb6N20jclO8)
永光邁向晶圓級封裝市場布局化學增幅型光阻劑
https://www.digitimes.com.tw
林昭文指出,由於I-line曝光機搭配傳統DNQ光阻劑的能力有所限制,可改用化學增幅光阻來提升電晶體線路的解析度,來提高顯示器的畫素及畫質。 他解釋說, ...