N2 FOUP：高階製程微汙染防治傳載系統
Foup Stocker
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目前業界大都採用人員操作將FOUP搬運至N2櫃進行充填，佔用了多數人力來執行充填作業，盟立N2 FOUP Stocker系統除了整合FOUP進行N2充填，更可經由每次的N2充填狀況，定義出 ...
LCS 與N2P機台整合
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N2 Purge(N2P)設備是一種運用在半導廠內的設備機台，FOUP載具填充惰性氣體（氮氣N2）以降低晶圓氧化及保持乾燥狀態穩定FOUP內環境。 盟立N2 FOUP Stocker系統整合N2P ...
N2 Purge Function
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高濃度沖吹(O2<100ppm)可在2分鐘以內可達到高速。 · 次世代半導體的高潔淨度，當開關內扉時採用非接觸密封結構(迷宮式或空氣密封)可抑制Foup內部微塵或使用RORZE自吹板來 ...
N2 Purge 吹淨系統
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... FOUP、OHT 和STB 等各種晶圓輸送和儲存場合的「N2 Purge 吹淨系統」自動化解決方案，為晶片製造吹走阻礙，還晶片製造一個更安「淨」的生產環境。 N2 Purge 吹淨系統 ...
在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge
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在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge. 前開式晶圓傳送盒（FOUP）卸載模塊的功能是在等待下一個工藝步驟的同時暫存晶圓。由於製造環境的清潔度是影響產品成品率的 ...
產品介紹
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Standalone-N2. 符合SECS/GEM 標準通信規範，具有FOUP 自動偵測充氣，防氮氣洩漏警告，充氣時間與氮氣流量可程式化，自動判別異常警告與全機數位化等功能。
鼎京科技有限公司Synergy Tek. Co.
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實驗室中有多廠牌之Load Port與FOUP供模擬，教育訓練與產品性能測試。 系統整合服務，解決機台設備商自帶N2 Purge之Load Port無法上傳流量及濕度的問題。 產品照片 ...