光阻 塗 佈機：自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK)
自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK)
【為台灣加油打氣專欄】我國的塗佈機技術
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光阻塗佈是半導體製程中一個非常重要的步驟，我們經常要在晶圓上塗佈一層光阻劑，其厚度最薄可能是100奈米（1奈米=十億分之一米），最厚可能是50微米（1微米=百 ...
上光阻機(Spin Coater), AST-T03
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上光阻機(Spin Coater). 晶圓全自動上光阻機，適用8”晶圓凸塊製程，分為晶圓傳送、旋轉塗佈及烘烤區。 可提供二種光阻不同膜厚製程。光阻利用高壓瓶或精準微量pump 供應，輸出 ...
光阻劑
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第七章: 微影製程. • 暫時在晶圓上塗佈光阻劑. • 將設計圖案轉移至光阻劑. • 為IC製程中最重要之步驟. • 占晶圓總製程時間的40 ~50%. 光阻劑. • 光敏感物質.
光阻塗佈機(Spin Coater)
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光阻塗佈機(Spin Coater) · 1.廠牌型號: 日本KYOWARIKEN K-359SD-1 · 2.購置年限:2001年12月28日 · 3.放置地點: 博愛校區奈米中心2樓218室 (TEL:55679) · 4.功能:光阻之塗 ...
光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務
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作用在使光阻形成液體狀，以方便之後做旋轉塗佈擴散之用途。光阻還有分為. 正光阻和負光阻兩種，就如同照片和幻燈片兩種。 微機電中心的光阻塗佈機，是一台全自動的光阻鍍膜機 ...
半導體製程類設備
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光阻塗佈機/Coater. CSE S-470主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。Spin Coating是最廣為用來上光阻的方法，通常的做法是將定量的阻劑塗佈在晶圓中心，在藉由不同階段 ...
半導體製造中的塗佈
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·在SiO₂膜上塗佈光阻劑（感光液）並成膜（一般使用旋轉塗佈機形成均勻的膜）. ·向繪有電路圖案的光掩模照射遠紫外線，僅受光部分的光阻膜發生反應，轉印圖案（曝光）。
黃光微影塗佈及顯影機
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光阻塗佈：去水烘烤、HMDS塗佈、光阻塗佈、厚PI塗佈、軟烤。 將光阻由噴嘴噴吐在晶圓上，使用旋轉載台帶動晶片高速旋轉後，將光阻均勻散佈在晶圓片上。 ... 顯影：曝後烤、顯影、 ...