Laser grooving：Low-k膜開槽加工
Low-k膜開槽加工
雷射開槽(laser groove)
https://www.kjet.com.tw
目前使用的解決方式，是利用雷射在晶圓上的PI進行開溝槽加工，讓輪刀可以在不接觸PI直接加工矽晶圓，進行分切作業。 業務窗口. [email protected].
Wafer Laser Grooving 雷射開槽
https://www.lasertek.com.tw
Wafer Laser Grooving 雷射開槽. 在雷射加工應用上，使用雷射進行Wafer 開槽可優於輪刀加工時造成的PI撕裂不良，短脈衝的雷射更能有效掌控熱能，減少影響加工品質。
Low-k Grooving
https://www.disco.co.jp
The low-K grooving process removes the wiring layer, including the low-K film, using laser grooving equipment.
高厚度金屬層之IC封裝雷射切割製程最適化
https://ndltd.ncl.edu.tw
... 雷射切割(Laser grooving)製程。進而符合客戶品質需求及提高市場的競爭力。 關鍵字：低介電質、雷射切割、反應曲面法、製程能力指標. 論文外文摘要. In the field of ...
晶圓雷射切割道形貌自動量測設備
https://www.wisepioneer.com.tw
晶圓雷射切割道形貌自動量測設備應用於晶圓切割（Dicing Saw）前，進行雷射開槽（Laser Grooving）後，針對雷射切割道進行三維形貌尺寸量測，檢測出不符合製程規格之產品，以 ...
環境微振動對Laser Grooving 機台的影響？
https://www.goodtechnology.com
激光刻槽（Laser Grooving）是一種利用高能量激光束在材料表面進行精密加工的方法。這種技術廣泛應用於半導體製造、微電子元件加工、太陽能電池製造以及其他需要高精度加工的 ...
Wafer Laser Grooving
https://en.enr.com.tw
Thanks to the laser grooving technologies, E&R's wafer laser grooving system can groove a variety of material layers, i.e. copper, aluminum, low-k, etc.
AL3000 | Dicing Machine
https://www.accretech.com
Automatically supports a series of processes from water-soluble protective film distribution to laser dicing and cleaning. Supports a laser grooving process