Chucking force：chucking force在線翻譯

chucking force在線翻譯

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ESC

https://zhuanlan.zhihu.com

由此可以看出，想增加chucking force，可以. 1. 增加电压. 2. 减小绝缘层厚度. 3. 使用介电常数高的绝缘材料. 4. 增加wafer size. 实际上wafer 的尺寸一般来说是固定的 ...

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What is an Electrostatic Chuck (ESC)?

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An electrostatic chuck (ESC) is a specialized type of chuck that uses electrostatic force to chuck, hold down, and pick up objects (workpieces).

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■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

https://edragontek.weebly.com

靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。圖片. □靜電吸盤的種類 (1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤 ... □ 專利庫倫力型靜電吸盤Patent Coulumb ...

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介電材料之靜電吸盤吸附力探討

https://www.airitilibrary.com

In this thesis, we discuss the effect of the chucking force on dielectric constants between different materials. ... We observed that one of the parameters of the ...

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