Chucking force：除電參數分析及實驗設計於晶圓蝕刻後之偏移量改善研究

除電參數分析及實驗設計於晶圓蝕刻後之偏移量改善研究

AStudyonElectrostaticChuckingForceofDielectricMaterials〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2007.02640;彭俊益 ...。其他文章還包含有：「chuckingforce在線翻譯」、「ESC」、「WhatisanElectrostaticChuck(ESC)?」、「■什麼是靜電吸盤WhatisElectrostaticChuck?」、「介電材料之靜電吸盤吸附力探討」、「介電材料之靜電吸盤吸附力探討」、「半導體專輯」

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chucking force在線翻譯

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ESC

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由此可以看出，想增加chucking force，可以. 1. 增加电压. 2. 减小绝缘层厚度. 3. 使用介电常数高的绝缘材料. 4. 增加wafer size. 实际上wafer 的尺寸一般来说是固定的 ...

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What is an Electrostatic Chuck (ESC)?

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An electrostatic chuck (ESC) is a specialized type of chuck that uses electrostatic force to chuck, hold down, and pick up objects (workpieces).

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■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

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靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。圖片. □靜電吸盤的種類 (1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤 ... □ 專利庫倫力型靜電吸盤Patent Coulumb ...

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介電材料之靜電吸盤吸附力探討

https://www.airitilibrary.com

In this thesis, we discuss the effect of the chucking force on dielectric constants between different materials. ... We observed that one of the parameters of the ...

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