chuck半導體：■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?

■什麼是靜電吸盤 E-Chuck?靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。

可吸附多種材質

Thin Warp Wafer Adhered by E-chuck ​

■靜電吸盤的種類(1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤“靜電吸盤”為最原始論文標示electrostatic，因而延續稱呼“靜電”吸盤。​“靜電“吸盤有許多種類和製造商，其“靜電“與“摩擦靜電“之靜電不盡相同。​​​專利​ “庫倫力型” 靜電吸盤的原理​，與其它產品很不相同。​專利庫倫力型​電力場為“靜止”電子產生，非摩擦靜電產生之電子或能量很高之自由電子產生。(2) Johnsen-Rahbek或 JR靜電吸盤 : 與我們提供之吸盤不同，詳細特性請參考其他網頁。​

​■專利庫倫力型靜電吸盤的特色​(1) 為​ “庫倫力型” 靜電吸盤。(2) 本靜電吸盤研發改進數十年，擁有數十項國際專利，優越的吸附能力和特性為同類產品之佼佼者。(3) 以電極裡印加電壓的方式實現安定吸附。(4) 在庫倫力型靜電吸盤中以最低的印加電壓發揮最大吸引力的電子吸盤。(5) 對象物的背部的電位為零，所以不影響背部的回路 (比如TFT回路)。(6) 可吸附多種材質和多孔隙材料：金屬/半導體/玻璃/紙張/絕緣體/多孔隙材料等。(7) 在真空環境或一般大氣環境均可使用。(8) 可定義吸附區及非吸附區，非吸附區可以供其他功能使用。(9) 可使用不同基底材質 (如 :不鏽鋼，鋁板，半導體晶圓，玻璃，合成塑膠 )。(10) 可客制化成多樣尺寸形狀厚度供客戶使用。(11) 先進開發技術把誘起電界封閉於E-Chuck內，完成無線吸盤 Move-Free Supporter。(12) 無線吸盤 Move-Free Supporter 經過吸附設定後，可電源斷開分離，自由移動，做傳輸載具應用。​

​■專利庫倫力型靜電吸盤的優點(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。(2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。(3...