chuck半導體：靜電吸盤解決方案
靜電吸盤解決方案
目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(ElectrostaticChuck，簡稱ESC或靜電力吸盤)。ESC原理是藉由 ...。其他文章還包含有：「什麼是靜電吸盤」、「■什麼是靜電吸盤WhatisElectrostaticChuck?」、「SiCchuck(碳化矽真空吸盤)」、「固定&吸附元件(Chuck)簡介」、「靜電吸盤的基本構造和原理」、「產品資訊」、「半導體使用的靜電吸盤」、「靜電吸盤的優勢」
查看更多 離開網站基本原理與流程：目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(ElectrostaticChuck，簡稱ESC或靜電力吸盤)。ESC原理是藉由施加超過1000伏的高電壓於電極承載板上產生靜電力，而使電極承載板和晶圓間產生吸附，配合冷卻裝置讓成膜/蝕刻製程能有效被控制。優點：根據客戶異常下機原因，協助解決客戶basksideHeliumLeakage、CurrentLeakage、chamberLeakage問題，並協助客戶改善製程及設備問題。延長ESC使用壽命，降低客戶成本。維修產品類別庫倫式ESC：HDP8/12"、TELSTM等系列。JR...
什麼是靜電吸盤
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什麼是靜電吸盤(E-Chuck,ESC). 靜電吸盤是利用『靜電的力量』去吸附對象物的一種裝置。 靜電吸盤上存在著正電極與副電極，只是肉眼看不見。對象物被靜電吸盤吸附的狀態 ...
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
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(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。 (2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。 (3) 被吸物體背面 ...
SiC chuck(碳化矽真空吸盤)
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在半導體、光電產業裡，常將極薄晶圓放置在碳化矽透氣吸盤上，接上真空產生器，利用真空吸力使晶圓固定，方便對晶圓進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及切割等製程.
固定&吸附元件(Chuck)簡介
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如果物件表面光滑平坦，就可以利用真空吸盤的方式吸附物件，透過吸/放真空可以控制對元件的吸附，在玻璃、半導體晶圓、太陽能晶片、PCB等等領域經常使用。
靜電吸盤的基本構造和原理
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靜電吸盤的基本構造和原理 · 1。種類：基本分為兩類。 · 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來固定Wafer。 · 3。吸盤與晶片接觸的表面有一層電介質。 · 4。在吸盤的電介質層中鑲嵌 ...
產品資訊
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Electrostatic Chuck. 瑞耘科技設計與製造的陶瓷靜電吸盤產品，可應用於真空系統中保持半導體和非導體(矽晶圓、玻璃)基板的吸附。我們亦將靜電吸盤應用延伸至自動化領域 ...
半導體使用的靜電吸盤
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半導體製造設備使用的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC) ... 近年來隨著數位化的發展，半導體已成為大家生活中的一部分，創造科學所開發的靜電吸盤不只在半導體業界， ...
靜電吸盤的優勢
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Advantages of Electrostatic Chuck · 可於真空環境下產生吸力 · 無微粒產生 · 高平坦度 · 吸附力量均勻 · 可控制溫度 · 可用於多孔材料.