chuck半導體：靜電吸盤的基本構造和原理
什麼是靜電吸盤
https://www.creativetw.com.tw
什麼是靜電吸盤(E-Chuck,ESC). 靜電吸盤是利用『靜電的力量』去吸附對象物的一種裝置。 靜電吸盤上存在著正電極與副電極，只是肉眼看不見。對象物被靜電吸盤吸附的狀態 ...
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
https://edragontek.weebly.com
(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。 (2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。 (3) 被吸物體背面 ...
SiC chuck(碳化矽真空吸盤)
https://www.kallex.com.tw
在半導體、光電產業裡，常將極薄晶圓放置在碳化矽透氣吸盤上，接上真空產生器，利用真空吸力使晶圓固定，方便對晶圓進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及切割等製程.
固定&吸附元件(Chuck)簡介
https://bloggerkevinyu.blogspo
如果物件表面光滑平坦，就可以利用真空吸盤的方式吸附物件，透過吸/放真空可以控制對元件的吸附，在玻璃、半導體晶圓、太陽能晶片、PCB等等領域經常使用。
產品資訊
https://www.calitech.com.tw
Electrostatic Chuck. 瑞耘科技設計與製造的陶瓷靜電吸盤產品，可應用於真空系統中保持半導體和非導體(矽晶圓、玻璃)基板的吸附。我們亦將靜電吸盤應用延伸至自動化領域 ...
半導體使用的靜電吸盤
https://www.creativetw.com.tw
半導體製造設備使用的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC) ... 近年來隨著數位化的發展，半導體已成為大家生活中的一部分，創造科學所開發的靜電吸盤不只在半導體業界， ...
靜電吸盤解決方案
https://www.kertz.com.tw
目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic Chuck，簡稱ESC 或靜電力吸盤)。 ESC 原理是藉由 ...
靜電吸盤的優勢
https://www.calitech.com.tw
Advantages of Electrostatic Chuck · 可於真空環境下產生吸力 · 無微粒產生 · 高平坦度 · 吸附力量均勻 · 可控制溫度 · 可用於多孔材料.