EKC clean:工學院半導體材料與製程設備學程
工學院半導體材料與製程設備學程
CN105529284A
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本发明提供了一种抛光及清洗晶圆的半导体设备,包括前端模组、测量模组、CMP抛光模组和清洗模组,在清洗模组中设置有EKC清洗单元,能够对放入其内的晶圆进行EKC溶液的清洗 ...
EKC 4000 PCT
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DuPont's post-etch residue removers are aqueous and semi-aqueous organic mixtures formulated to effectively remove residues from substrate surfaces.
POLYMER RESIDUE REMOVER
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After EKC clean, there is an IPA/Dry process where IPA may get contaminated with EKC traces. The Semicon. Refractometer can monitor the concentration of the.
Specialized Removers and Clean Chemistries
https://www.dupont.com
Our advanced clean chemistries provide best-in-class process solutions for wafer cleaning, surface preparations, liquid and dry film resist removal, post ...
使用EKC® 化学品去除蚀刻残留物
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蚀刻残留物去除工艺可将聚合物从晶圆表面清除。这是通过将常用的蚀刻后化学品EKC®添加到喷雾设备中实现的。 蚀刻后EKC® 清洗处理. 将EKC® 溶液严格控制在一定浓度范围 ...
半导体晶圆的清洗方法
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本发明提供了一种半导体晶圆的清洗方法,至少包含如下步骤:提供一晶圆,所述晶圆上具有刻蚀残余物;采用EKC溶液清洗所述晶圆,去除所述晶圆上的刻蚀残余物;采用一清洗剂 ...
最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)
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標準清潔液2 (standard clean 2)為HCl/H2O2/H2O. 比例為: 1:1:6 至1:2:8. 清潔溫度為:75~85℃. 清潔時間為:10~20 分鐘。 晶圓濕式蝕刻之簡介. 在積體電路(Integrated ...
湿法EKC清洗机
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技术特点以纯水、酸性药液或有机试剂作为清洗剂,采用喷淋、热浸等清洗方式,对晶圆进行批量清洗;设备运用了公司自主设计的AWB框架,占地面积与行业内相同机台相比小20% ...