家登EUV Pod：EUV POD

以子母盒雙層設計，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。。其他文章還包含有：「中國半導體在地化最大受惠者：家登」、「大廠3奈米步量產家登歡呼」、「家登小金雞EUV光罩傳載設備製造商—家碩科技(6953)」、「家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨」、「家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨」