家登EUV Pod：大廠3奈米步量產家登歡呼

2023年3月6日—由於新曝光機台搭配的極紫外光罩盒（EUVPod）必須全面升級至第二代（phase2），家登（3680）已率先完成認證，不僅下半年開始放量出貨，且平均銷售 ...。其他文章還包含有：「EUVPOD」、「中國半導體在地化最大受惠者：家登」、「家登小金雞EUV光罩傳載設備製造商—家碩科技(6953)」、「家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨」、「家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨」