家登EUV Pod：家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨
家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨
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EUV POD
https://www.gudeng.com
以子母盒雙層設計，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
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中國半導體在地化最大受惠者：家登
https://tw.tech.yahoo.com
預計2024年極紫外光光罩盒(EUV Pod)市場需求量將會是2021年的五倍。家登憑藉對材料及製程熟悉度建立技術及專利門檻，目前全球僅家登與美商Entegris通過 ...
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大廠3奈米步量產家登歡呼
https://ctee.com.tw
由於新曝光機台搭配的極紫外光罩盒（EUV Pod）必須全面升級至第二代（phase 2），家登（3680）已率先完成認證，不僅下半年開始放量出貨，且平均銷售 ...
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家登小金雞EUV光罩傳載設備製造商—家碩科技(6953)
https://vocus.cc
2021年：EUV設備放大量，為了光罩盒的潔淨度(提升良率)，需要充氮氣(N2)越來越多，村田做Stocker，家碩做盤面整合，家登做EUV pod。 2023年：由家登 ...
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家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨
https://today.line.me
公司第二代極紫外光光罩盒(EUV POD)已獲得ASML驗證，最快今(2023)年下半年開始出貨，明(2024)年可全面放量。 配合微影設備龍頭廠商ASML在EUV設備持續進行 ...