家登EUV Pod:中國半導體在地化最大受惠者:家登
中國半導體在地化最大受惠者:家登
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EUV POD
https://www.gudeng.com
以子母盒雙層設計,提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
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大廠3奈米步量產家登歡呼
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由於新曝光機台搭配的極紫外光罩盒(EUV Pod)必須全面升級至第二代(phase 2),家登(3680)已率先完成認證,不僅下半年開始放量出貨,且平均銷售 ...
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家登小金雞EUV光罩傳載設備製造商—家碩科技(6953)
https://vocus.cc
2021年:EUV設備放大量,為了光罩盒的潔淨度(提升良率),需要充氮氣(N2)越來越多,村田做Stocker,家碩做盤面整合,家登做EUV pod。 2023年:由家登 ...
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家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨
https://www.moneydj.com
公司第二代極紫外光光罩盒(EUV POD)已獲得ASML驗證,最快今(2023)年下半年開始出貨,明(2024)年可全面放量。 配合微影設備龍頭廠商ASML在EUV設備持續進行 ...
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家登第二代EUV光罩盒拚下半年出貨
https://today.line.me
公司第二代極紫外光光罩盒(EUV POD)已獲得ASML驗證,最快今(2023)年下半年開始出貨,明(2024)年可全面放量。 配合微影設備龍頭廠商ASML在EUV設備持續進行 ...